웨이퍼 정렬기
Wafer aligner
정렬기는 웨이퍼의 중심과 노치 등의 기준 방향을 확인하고 이송에 필요한 자세를 맞추는 모듈이다.
설명
로봇이 정확한 위치에 놓도록 돕지만, 노광에서 층 사이 패턴을 맞추는 정렬 측정과 목적·정밀도 요구가 다르다.
예시
노치 방향이 맞았다고 이전 층과 다음 층의 패턴 중첩이 보장되지는 않는다. 장비 입구의 자세 정렬과 공정 내 패턴 정렬을 구분한다.
구분
무엇을 기준으로 무엇의 위치를 맞추는지 확인한다.
Wafer aligner
정렬기는 웨이퍼의 중심과 노치 등의 기준 방향을 확인하고 이송에 필요한 자세를 맞추는 모듈이다.
로봇이 정확한 위치에 놓도록 돕지만, 노광에서 층 사이 패턴을 맞추는 정렬 측정과 목적·정밀도 요구가 다르다.
노치 방향이 맞았다고 이전 층과 다음 층의 패턴 중첩이 보장되지는 않는다. 장비 입구의 자세 정렬과 공정 내 패턴 정렬을 구분한다.
무엇을 기준으로 무엇의 위치를 맞추는지 확인한다.