설명
장비 직무에서는 취급의 정밀도··웨이퍼 손상·정렬·을 장비 수준 관점에서 본다.
여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗공기·액체·표면에 존재하는 미세 고형 또는 액상 입자. 미세공정에서는 작은 입자도 패턴을 막거나 결함을 만들 수 있다.
용어 상세 ↗일정 시간 동안 공정·장비·공장이 처리하거나 완료할 수 있는 웨이퍼, 웨이퍼 로트, 단위의 수.
용어 상세 ↗예시
핸들러가 의 에서 웨이퍼를 꺼내 aligner를 거쳐 정해진 챔버 또는 스테이지로 전달한다.
관련 용어: / 장비 로드 포트 / 풉·웨이퍼 운반용 밀폐 캐리어
여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 공정/계측 장비에 올려놓고 장비와 캐리어를 인계하는 표준화된 물리적 접점.
용어 상세 ↗300 mm 웨이퍼를 오염으로부터 보호하면서 저장·운반하는 전면 개방형 캐리어. 자동물류 시스템과 장비 사이에서 웨이퍼 로트를 담는 대표 용기다.
용어 상세 ↗웨이퍼 핸들러 또는 이송 모듈 안에서 웨이퍼를 정해진 위치 사이로 옮기는 정밀 웨이퍼 이송 로봇 부품. 진공·입자·정렬 조건을 고려해 장비 내부 이송에 사용된다.
용어 상세 ↗구분
핸들러는 장비 수준에서 웨이퍼 자체를 이송한다. 팹 수준 /는 주로 같은 캐리어를 장비 사이로 운반하는 상위 물류 계층이다.
여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗FOUP 등 웨이퍼 캐리어를 팹 내부에서 자동으로 저장·이동·인계하도록 구성한 물류 시스템 전체.
용어 상세 ↗팹 천장 레일을 따라 이동하며 FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 장비나 자동 캐리어 저장장치 사이로 자동 운반하는 물류 장치.
용어 상세 ↗300 mm 웨이퍼를 오염으로부터 보호하면서 저장·운반하는 전면 개방형 캐리어. 자동물류 시스템과 장비 사이에서 웨이퍼 로트를 담는 대표 용기다.
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