웨트 벤치
Wet bench
웨트 벤치는 여러 처리조와 이송·배기 기능을 구성해 를 액체 처리하는 장비다.
설명
배치 처리로 여러 장을 함께 다룰 수 있으며 용액 상태와 교환, 캐리어 청정도와 이송 중 노출을 관리한다. 모든 웨트 벤치가 같은 처리조 순서를 쓰지는 않는다.
예시
배치 안에서 위치별 결과가 다르면 액체 흐름·적재·오염 누적을 함께 확인한다. 용액 평균 상태만으로 각 위치의 접촉 조건을 대표시키지 않는다.
구분
공유 용액과 배치 이송은 생산성과 함께 공통 영향 범위를 만든다.