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ALD 온도 창

ALD temperature window

팩별 설명

ALD 온도 창은 특정 재료계에서 원하는 자기제한 성장과 막 특성을 얻도록 정한 온도 범위다.

설명

너무 낮으면 반응이 불완전하거나 응축이, 너무 높으면 탈착·분해가 문제가 될 수 있다. 모든 재료에 공통된 온도 창이나 완전히 평평한 구간이 존재하는 것은 아니다.

GPC

GPC는 ALD의 한 사이클당 평균 막 두께 증가량이다.

온도에 따른 성장량만 보지 말고 조성·밀도·불순물 등 요구 특성을 같이 본다. 두께가 일정하다는 사실만으로 좋은 막질을 선언하지 않는다.

온도 창은 성장량과 막 품질을 함께 만족시키는 적용 범위다.

GPC는 ALD의 한 사이클당 평균 막 두께 증가량이다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.