종횡비 의존 식각
Aspect-ratio-dependent etching
ARDE
종횡비 의존 은 패턴의 깊이 대 폭 비율에 따라 식각 진행이 달라지는 현상이다.
설명
좁고 깊은 구조에서는 반응물 공급과 생성물 배출, 입자 도달 조건이 달라진다. 넓은 시험 패턴에서 얻은 속도가 좁은 구멍에 그대로 적용되지 않을 수 있다.
예시
같은 에서 넓은 개구는 깊고 좁은 개구는 얕다면 형상별 결과를 나눠 본다. 챔버 전체의 가스 부족으로만 설명하지 않는다.
구분
평탄한 면의 속도와 좁은 구조 안의 진행은 다른 조건에서 얻어진다.