오버에치
Overetch
오버에칭
오버에치는 목표층 도달 이후 남아 있을 수 있는 재료를 제거하기 위해 추가로 수행하는 구간이다.
설명
위치별 두께와 차이를 보완하지만 하부막 손실이나 마스크 소모도 증가시킬 수 있다. 추가 시간은 제품과 공정 조건에 맞춰 검증해야 한다.
예시
중앙은 열렸지만 가장자리에 잔막이 있는 상황에서 시간이 더 필요할 수 있다. 그러나 하부막 보호 여유가 작은 경우 시간 증가만으로 해결할 수 없다.
구분
잔막 제거의 이득과 이미 노출된 재료의 손실을 함께 본다.