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베이스라인

Baseline

정상 기준 데이터

팩별 설명

베이스라인은 비교의 기준으로 사용하는 검증된 정상 상태의 데이터나 조건 집합이다.

설명

·제품·장비 상태와 측정 조건을 함께 기록해야 의미가 유지된다. 정상 결과 하나를 모든 운전 모드의 기준으로 확대하면 오판하기 쉽다.

레시피

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

정비 후 신호를 비교할 때 이전 정상 운전의 같은 단계와 조건을 사용한다. 다른 가스 단계의 평균값을 기준으로 삼지 않는다.

좋은 기준은 숫자뿐 아니라 그 숫자를 만든 조건을 포함한다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

반복성은 같은 방법과 조건으로 짧은 기간에 반복했을 때 결과가 서로 가까운 정도다.

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.