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공정 적격 확인

Process qualification

공정 적격 확인은 장비가 합의한 제품·조건 범위에서 요구한 공정 결과를 낼 수 있는지 검증하는 활동이다.

설명

정비 후 복귀, 신규 장비 도입과 변경 적용 등에 사용한다. 한 번의 좋은 평균값보다 ·위치별 결과·결함 등 관련 요구를 확인한다.

반복성

반복성은 같은 방법과 조건으로 짧은 기간에 반복했을 때 결과가 서로 가까운 정도다.

한 챔버에서 특정 막만 검증했는데 다른 재료까지 자동으로 허가하지 않는다. 검증 범위와 생산 허가 범위를 맞춘다.

적격 확인에는 대상·조건·판정 기준이라는 경계가 있다.

반복성은 같은 방법과 조건으로 짧은 기간에 반복했을 때 결과가 서로 가까운 정도다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.