CD-SEM
Critical Dimension Scanning Electron Microscope
CD-SEM은 주사전자현미경 영상을 이용해 미세 패턴의 치수를 측정하는 장비다.
설명
전자 빔 조건, 영상 처리와 경계 정의가 측정값에 영향을 준다. 관찰 방향과 측정 위치에 따라 실제 구조 중 확인하는 부분이 다르다.
예시
상부 선폭이 맞아도 깊은 구조의 바닥 형상이 같다고 단정할 수 없다. 측정한 단면이나 표면이 어디인지 명확히 한다.
구분
숫자에는 영상 조건과 치수 경계의 정의가 함께 들어 있다.