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결함 지도

Defect map

팩별 설명

결함 지도는 위의 결함 위치와 분류 정보를 공간적으로 표시한 자료다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

설명

가장자리 띠, 특정 방향, 접촉 위치 반복 같은 패턴이 원인 후보를 좁히는 데 도움을 준다. 지도 모양만으로 단일 부품의 고장을 확정할 수는 없다.

이송 접촉 위치와 결함이 겹치면 지지부를 조사하되 이전 공정과 검사 좌표도 확인한다. 좌표가 다르면 같은 위치처럼 보이는 착시가 생길 수 있다.

공간 패턴을 장비 구조와 연결하되 재현 가능한 증거로 확인한다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

클러스터 장비는 공통 이송부에 여러 공정·처리 모듈을 연결한 장비 구성이다.