엘립소미터
Ellipsometer
엘립소미터는 표면에서 반사된 빛의 편광 변화 등을 이용해 박막의 두께와 광학 특성을 추정하는 장비다.
설명
막 구조와 물성을 설명하는 모델에 측정 신호를 맞추므로 모델 적합성이 중요하다. 서로 다른 막 구성이 비슷한 신호를 만들 수 있어 독립 정보와 함께 검증하기도 한다.
예시
새 적층 구조를 기존 모델로 분석하면 잘 맞는 숫자가 보여도 물리적 의미가 틀릴 수 있다. 모델과 적용 재료를 확인한다.
구분
광학 계측의 두께는 신호와 모델을 연결해 얻은 추정값이다.