종료점 검출
Endpoint detection
종료점 검출은 공정 중 얻는 신호로 목표층 도달이나 반응 완료 시점을 판단하는 방법이다.
설명
시간만 정하는 방식과 달리 실제 반응 상태의 변화를 이용한다. 신호가 목표층 변화를 잘 반영하는지 검증해야 하며 모든 구조에서 동일한 검출 감도를 얻지는 못한다.
예시
노출되는 목표층 면적이 작으면 전체 신호에서 변화가 약할 수 있다. 검출이 없었다는 기록만으로 목표층에 도달하지 않았다고 단정하지 않는다.
구분
종료점 신호의 의미와 검출 가능한 조건을 함께 확인한다.