화면을 준비하고 있습니다.

OES

Optical Emission Spectroscopy

광방출 분광법

팩별 설명

OES는 가 방출하는 빛을 파장별로 나누어 관찰하는 광방출 분광법이다.

플라스마

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

설명

반응물이나 생성물과 관련된 신호 변화를 공정 감시와 종료점 판단에 활용할 수 있다. 광학창 오염이나 상태 변화도 빛의 세기를 바꾸므로 농도를 그대로 읽는 만능 센서는 아니다.

플라스마

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

정비 후 모든 파장 신호가 함께 약해졌다면 공정 반응 변화 외에 관찰 경로의 상태도 조사한다. 한 파장의 감소를 바로 완료로 해석하지 않는다.

식각

식각은 재료를 화학적 반응이나 물리적 작용 등으로 제거하여 원하는 형상을 만드는 공정이다.

빛의 변화는 화학 반응과 측정 경로를 함께 거친 관찰값이다.

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

식각은 재료를 화학적 반응이나 물리적 작용 등으로 제거하여 원하는 형상을 만드는 공정이다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.