종말점 검출
Endpoint detection
EPD
종말점 검출은 공정 중 신호 변화로 목표 제거 상태에 도달했는지 추정하는 방법이다.
설명
광방출·광학 간섭·전기 신호 등이 사용되며 직접 두께를 읽는 경우와 부산물 변화를 보는 경우의 의미가 다르다. 검출 위치와 평균 범위를 먼저 확인한다.
예시
전역 신호가 변해도 가장 느린 작은 구조가 남아 있을 수 있다. 검출 조건과 제품 완료 조건 사이의 관계를 모니터로 검증한다.
구분
검출 신호의 사건과 모든 구조의 완료를 동일시하지 않는다.