순방향·반사 전력
Forward and reflected power
순방향 전력은 측정면에서 부하 쪽으로 진행하는 전력이고, 반사 전력은 반대 방향으로 돌아오는 전력이다.
설명
같은 측정면에서 순전달 전력은 순방향에서 반사를 뺀 값이다. 그 뒤 케이블·매칭기·전극의 손실이 있으므로 순전달 전력을 곧바로 플라즈마 흡수 전력이라 부르면 안 된다.
예시
가상 예에서 순방향 1,000 W, 반사 50 W라면 해당 면의 순전달은 950 W다. 하류 손실을 모르면 웨이퍼나 플라즈마에 흡수된 양은 확정하지 못한다.
구분
전력 수치에는 측정 위치와 손실 경계를 붙인다.