증착 속도
Deposition rate
증착 속도는 단위 시간에 형성되는 막 두께의 증가량이다.
설명
일정 구간에서는 두께를 시간으로 나누어 평균 속도를 구할 수 있지만 초기 핵생성이나 조건 변화가 있으면 전체가 선형으로 성장하지 않을 수 있다.
예시
가상 정상 구간에서 60초에 30 nm가 쌓이면 평균 0.5 nm/s다. 이 값으로 시간을 두 배 늘린 결과를 예측하려면 같은 성장 상태가 유지된다는 가정이 필요하다.
구분
속도 계산에는 측정 구간과 선형성 가정이 따라붙는다.