용어검색/반도체전구체Precursor팩별 설명반도체 공정 L1반도체 장비 L1반도체 소재 L1반도체 용어 L1전구체는 증착할 재료의 구성 원소 등을 공급하기 위해 사용하는 반응 원료다.정의 복사관련 학습 ↓설명기체 자체이거나 액체·고체 원료를 기화하여 공급할 수 있다. 증기압·열적 안정성·반응성·불순물이 공급 방식과 공정 조건을 제한한다.예시원료가 공급 배관에서 응축되면 설정 유량과 실제 도달량이 달라질 수 있다. 가열 조건을 높이는 것도 분해 위험과 함께 검토해야 한다.구분막 재료 선택은 원료의 전달 가능성과 적합성까지 포함한다.함께 배우는 용어면내 균일도↗면내 균일도는 한 웨이퍼의 여러 위치에서 측정한 공정 결과가 얼마나 고르게 분포하는지를 나타낸다.진공↗진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.드라이 펌프↗드라이 펌프는 기체를 압축하는 공간에서 오일을 밀봉 매체로 쓰지 않는 진공 펌프다.이전 용어← CVD다음 용어샤워헤드 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개