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샤워헤드

Showerhead

샤워헤드는 여러 작은 구멍을 통해 기체를 위에 분배하는 부품이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

설명

구멍 배치·간격·막힘·온도와 사이 거리가 반응물 분포에 영향을 준다. 공정에 따라 전극 기능을 함께 수행하기도 한다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

분배 구멍 일부가 오염되면 전체 유량이 같아도 위치별 막 두께가 달라질 수 있다. 값만으로 위의 공급 균일성을 보증하지 않는다.

MFC

MFC는 질량 유량 제어기로, 유량을 측정하고 내부 밸브를 조절해 설정한 유량에 가깝게 유지한다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

총량 제어와 공간 분배는 서로 다른 장비 기능이다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

MFC는 질량 유량 제어기로, 유량을 측정하고 내부 밸브를 조절해 설정한 유량에 가깝게 유지한다.

면내 균일도는 한 웨이퍼의 여러 위치에서 측정한 공정 결과가 얼마나 고르게 분포하는지를 나타낸다.