에피택시
Epitaxy
에피택시는 기판 결정의 배열 관계를 이어받으며 결정층을 성장시키는 방식이다.
설명
공급 원료뿐 아니라 기판 표면의 청정도·산화 상태·결정성이 중요하다. 선택적 성장에서는 원하는 표면에 성장시키고 다른 영역의 성장을 억제하는 조건도 필요하다.
예시
막 두께가 같아도 계면 오염이나 결정 결함이 있으면 전기적 특성이 달라질 수 있다. 일반 막 두께 관리만으로 결정 품질을 대신하지 않는다.
구분
에피택시는 얼마나 쌓았는가와 어떤 결정으로 이어졌는가를 함께 묻는다.