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등방성 식각

Isotropic etching

팩별 설명

등방성 은 여러 방향의 제거 속도가 비슷한 식각 특성을 말한다.

식각

식각은 재료를 화학적 반응이나 물리적 작용 등으로 제거하여 원하는 형상을 만드는 공정이다.

설명

마스크 아래로도 옆 방향 제거가 진행될 수 있지만 잔류막 제거나 특정 구조 형성에서는 유용할 수 있다. 이방성보다 무조건 나쁜 특성은 아니다.

하부를 일부 비워야 하는 구조에서는 옆 방향 제거가 목적일 수 있다. 방향성은 원하는 형상과 연결해 판단한다.

식각

식각은 재료를 화학적 반응이나 물리적 작용 등으로 제거하여 원하는 형상을 만드는 공정이다.

등방성과 이방성은 품질 등급이 아니라 형상을 만드는 서로 다른 성질이다.

식각은 재료를 화학적 반응이나 물리적 작용 등으로 제거하여 원하는 형상을 만드는 공정이다.

EFEM은 장비 전면에서 캐리어와 내부 장비 사이의 웨이퍼 이송 및 국소 청정 환경을 담당하는 모듈이다.

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.