등방성 식각
Isotropic etching
등방성 식각은 접근 가능한 표면에서 방향에 따른 제거 속도 차이가 작게 나타나는 식각이다.
설명
측방 제거가 필요한 릴리스 공정에는 유리할 수 있지만 남겨야 할 구조의 언더컷도 늘릴 수 있다. 수송 제약이 있으면 실제 구조는 이상적인 등방 형상과 다를 수 있다.
예시
희생층을 옆으로 제거할 때 입구와 가장 깊은 위치의 잔류량을 따로 확인한다.
구분
등방성이라는 성질과 구조 전체 제거의 균일성을 구분한다.