보존막 손실 예산
Protected-layer loss budget
보존막 손실 예산은 후속 기능을 유지하기 위해 허용할 수 있는 보존막의 누적 제거량이다.
설명
식각뿐 아니라 세정·대기 산화·재작업 등 여러 단계가 남은 두께와 표면 상태를 바꾼다. 단일 단계의 선택비 합격만으로 충분하지 않다.
예시
가상 허용 손실 3 nm 중 앞 단계에서 2 nm를 썼다면 남은 예산은 1 nm다. 조건 변동에 필요한 여유도 남겨야 한다.
구분
각 단계의 손실을 누적하여 남은 기능 마진을 관리한다.