용어검색/반도체개구수Numerical aperture팩별 설명반도체 용어 L1반도체 공정 L1반도체 장비 L1반도체 계측·검사 L1반도체 공정 L2반도체 장비 L2개구수는 광학계가 얼마나 넓은 각도의 빛을 받아들이는지를 나타내는 수치다.정의 복사관련 학습 ↓설명다른 조건이 같을 때 개구수가 커지면 더 작은 패턴을 분리하는 데 유리하지만 초점 허용 범위는 좁아질 수 있다. 해상도와 초점 관리가 함께 요구된다.예시개구수만 높이고 웨이퍼 평탄도와 높이 측정을 그대로 두면 기대한 결과를 얻기 어렵다. 광학 성능 개선은 주변 제어 요구를 바꾼다.웨이퍼웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.용어 상세 ↗구분미세화의 이점과 초점 민감도의 변화를 함께 기억한다.함께 배우는 용어웨이퍼↗웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.면내 균일도↗면내 균일도는 한 웨이퍼의 여러 위치에서 측정한 공정 결과가 얼마나 고르게 분포하는지를 나타낸다.처리량↗처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.이전 용어← EUV 노광다음 용어노광량 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개