입자 오염
Particle contamination
입자 오염은 공정에 필요하지 않은 고체 또는 미세 물질이 표면이나 환경에 존재하는 상태다.
설명
이송 접촉·부품 마모·막 박리·유체 공급 등 여러 경로에서 생길 수 있다. 입자의 크기와 위치, 성분에 따라 제품 영향이 달라진다.
예시
입자 수가 같아도 접속부 위에 놓인 입자와 비활성 영역의 입자는 영향이 다를 수 있다. 개수뿐 아니라 분포와 중요 위치를 함께 본다.
구분
입자 관리는 수량·성질·도달 위치를 함께 다루는 문제다.