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레티클

Reticle

팩별 설명

레티클은 에 전사할 패턴 정보를 가진 노광용 원판이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

설명

광학계는 이 정보를 목표 배율로 에 전달한다. DUV와 EUV는 광학 구성과 레티클 구조가 달라 같은 방식으로 빛을 통과시키는 것은 아니다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

잘못된 레티클 ID나 버전은 장비가 정상 동작해도 다른 패턴을 만들게 한다. 물리적 정렬과 올바른 패턴 선택을 따로 확인한다.

정확히 움직이는 것보다 먼저 올바른 원판을 사용해야 한다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

면내 균일도는 한 웨이퍼의 여러 위치에서 측정한 공정 결과가 얼마나 고르게 분포하는지를 나타낸다.

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.